多晶硅专用制氮系统

半导体硅行业对于生产工艺有着极为严格的要求，长期以来由于PSA空分设备的技术局限性，生产的氮气不能完全满足其需要，因此在工业上一直使用昂贵的液氮作为保护氛围。对此，Weiton公司经过近两年的研发，在一般通用制氮机的基础上，根据半导体硅行业对氮气的特殊要求，成功研制出了专用的配套制氮机。此制氮机所生产的氮气纯度高、露点低，无有害杂质，完全可以满足半导体硅行业对氮气的高要求。而且，装置操作方便，维护简单，消耗品少，是用户毋庸质疑的*佳选择。