光学轮廓仪 Zeta-20 多模式三维光学轮廓仪

产品描述

Zeta-20台式光学轮廓仪是一款非接触式3D显微镜及表面形貌测量系统。该 3D 光学量测系统由已获得*的 ZDot 技术及多模式光学组件提供支持，可支持各种样品测量：透明和不透明、低反射率和高反射率、光滑表面和粗糙纹理，以及从纳米到厘米范围的台阶高度。

Zeta-20台式光学轮廓仪集六种不同的光学量测技术于一身，是一款可灵活配置且易于使用的系统。ZDot测量模式同时收集高分辨率的3D扫描信息和样品表面真彩色图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量法、诺马斯基光干涉对比显微法和剪切干涉测量法，膜厚测量包含使用ZDot模式测量和光谱反射的测量方法。Zeta-20 也是一款*显微镜，可用于抽样检查或缺陷的自动检测。Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度及薄膜厚度测量以及缺陷检测功能来支持研发 (R&D) 和生产环境。

Zeta-20台式光学轮廓仪特征优势

• 配合ZDot及多模式光学组件，光学轮廓仪可以容易地实现各种各样的应用

• 用于抽样检查和缺陷检测的高质量显微镜

• ZDot: 同时收集高分辨率的3D扫描扫描信息和样品表面真彩色图像

• ZXI：采用z方向高分辨率的广域测量白光干涉仪 ZIC：亚纳米级粗糙度表面的定量3D数据的干涉对比

• ZIC：图像对比度增强，可实现亚纳米级粗糙度表面的定量分析

• ZSI：z方向高分辨率

• 图像的剪切干涉测量法

• ZFT：通过集成式宽频反射测量法测量薄膜厚度和反射率

• AOI：自动光学检测，可量化样品缺陷

• 生产能力：具有多点量测和图形识别功能的全自动测量

Zeta-20台式光学轮廓仪应用功能

• 台阶高度：从纳米级到毫米级的3D 台阶高度

• 表面：光滑表面到粗糙表面上的粗糙度和波纹度测试

• 翘曲：2D或3D翘曲

• 应力：2D 或3D 薄膜应力

• 薄膜厚度：透明薄膜厚度由 30nm 至 100µm 不等

• 缺陷检测：捕获大于 1µm 的缺陷

• 缺陷表征：KLARF文件可用于寻找缺陷，以确定划痕缺陷位置，测量缺陷3D表面形貌

Zeta-20台式光学轮廓仪应用领域

• 太阳能：光伏太阳能电池

• 半导体和化合物半导体

• 半导体WLCSP（晶圆级芯片封装）

• 半导体FOWLP（扇出晶圆级封装）

• PCB（印刷电路板）和柔性印刷电路板

• MEMS：微机电系统

• 医疗器械和微流体器件

• 数据存储

• 大学、研究实验室和研究所

Zeta-20台式光学轮廓仪应用案例

肖特玻璃-表面粗糙度

        可用来测试玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度

太阳能电池–不同反射率表面形貌测量

        轻松获得复杂差异化反射率样品的表面形貌

MEMS器件–台阶高度和粗糙度

    小尺寸样品nm级台阶精度，大尺寸样品的亚微米台阶精度

镜头-完整的表面轮廓

       图像拼接功能，可获得大面积样品的完整表面轮廓

高分子薄膜-膜厚测量

       可用于PI和PR薄膜的厚度测量，并可生成整片晶圆上的膜厚mapping

蓝宝石-图案化晶片表面缺陷

        可对特定缺陷进行三维轮廓扫描并进行相关测量，并对晶圆表面缺陷按尺寸、亮度、长宽比等进行分布统计并生成mapping