美国PMS颗粒仪 HPGP-101-C

美国PMS颗粒仪 HPGP-101-C  PDS-E高压气体探测器

高科技制造工艺通常需要高纯气体。高压气体探测系统HPGP-101-C可在线压下为工艺气体提供可依赖的在线污染监测。

HPGP与大多数无毒气体兼容，可用于许多反应性气体监测应用中

PDS-E(粒子数据系统-以太网)收集和报告HPGP-101-C探测器捕获的数据。

优点

降低成本

• 工艺气体分配系统的速度限定
• 在影响产量之前测定气体中的颗粒。
• 与氧，氢和大多数无毒气体兼容

改进过程控制

• 验证气体质量
• 检测过程是否异常
• 量化系统变化的影响
• 准确的粒度
• 便利的网络数据管理软件，用于全面数据存储，管理，报告和警报

可靠性

• 被动腔式设计不需要经常维护
• 与其他系统不同，HPGP不需要监测流体
• 惰性气体吹扫，确保安全
• 如气体泄漏到安全舱，切断电源

功能

• 0.1 SCFM时具备0.1μm灵敏度
• 8个粒子通道
• 40-150 psig的线压
• 被动激光腔
• 并行处理阵列检测系统
• 安全舱
• 同时进行双重探测操作
• 氧气和氢兼容性

应用

• 气体分配系统的限定
• 过程气体监测
• 反应性气体监测