三维白光干涉仪SuperViewW1光学3D表面轮廓仪
产品关键词:白光干涉仪 三维测量仪 干涉仪 白光测量仪
- 产品名称:三维白光干涉仪SuperViewW1光学3D表面轮廓仪
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- 产品商标:
- 产品规格:900×700×604㎜
- 参考价格:面议
- 更新时间:2023/4/17 13:47:51
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SuperViewW1三维白光干涉仪是利用白光干涉扫描技术为基础,用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。SuperViewW1三维白光干涉仪可以达到纳米级的检测精度,并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、光学加工、微纳材料及制造、3C电子玻璃屏及其精密配件、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数。
纵向扫描:≤10.3mm,与选用物镜相关
扫描帧速:50FPS/s
粗糙度重复性:0.005nm(依据ISO 25178-2012)
光学分辨率:0.4μm~3.7μm,与选用物镜相关
至大点数:1048576(标准)
台阶测量:准确度≤0.3%,重复性≤0.08%1σ
SuperViewW1三维白光干涉仪集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。