1700度高温CVD系统 (高真空 低真空可选） BTF-1700C-CVD

加热区参数

 炉管尺寸：Φ60/80×1000mm(管径可选)

 加热元件：硅钼棒

 加热区长度：300mm

 恒温区长度：150mm

 工作温度：1550℃

 *高温度：1650℃

 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能

 控温精度：±1℃

 推荐升温速度： 1400℃以下≤10℃/min，1400℃到1600℃≤5℃/min

 工作电源：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

 额定功率：5.2 KW

 外型尺寸：610×440×720 mm

 标准配件：高纯刚玉管1支，氧化铝管堵2对，不锈钢法兰1套，氟胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个;

 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰(包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头)，端口可按实际使用扩展。

气路系统参数

 质量流量计参考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm (量程可选)

 准确度：±1.5%

 线性：±0.5～1.5%

 重复精度：±0.2%

 响应时间：≤10sec

 工作压差范围：0.1～0.5 MPa

 *大压力：3MPa

 接口：Φ6,1/4''

 显示：4位数字显示

 工作环境温度：5~45高纯气体

 内外双抛不锈钢管：Φ6

 压力真空表：-0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止阀：Φ6

 连接头类型：双卡套不锈钢接头。

 可选配一路、两路、三路、四路、五路等以上质量流量计

低真空系统参数

 抽速：10m³/h

 极限真空度：5*10^-1pa

 电源：220v 50hz

 电机功率：0.4kw  

 进排气连接口：KF25

 用油量：1.1L

 电机转速：1440rpm

 工作环境温度：5-40℃

 噪音：≤56db

 电阻真空计参数：

 1.配用规管：电阻规，

 2.测量范围： 10⁵～10^-1 Pa，

 3.测量路数： 1路

 4.控制范围： 5×10³～5×10^-1Pa，

 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

 7.功耗： 20W

 采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接

高真空系统参数

 空气相对湿度：≤85%

 工作电压：AC220V±10%  50/60HZ

 功率：1KW

 系统整体极限真空度：10^-5Pa

 实验真空度：10^-3Pa

 外形尺寸：850×600×650mm

 机械泵:

 抽气速率：10m³/h

 容油量：1.1L

 电机功率：400W

 极限压强：6×10^-2Pa

 分子泵:

 抽气速率：100L/S

 极限压强：6×10^-6Pa

 启动时间：＜2min

 额定转速：4300转/分

 冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。

 分子泵控制器:

 电压：220V±22V

 启动电流：≤7A

 输入频率：47HZ~63HZ

 *大输出功率：≤150W

 *大加速电压：≤40V

 加速时间：≤3min

 频率（双速）：高速705HZ±10HZ

                        低速430HZ±5HZ

 复合真空计:

 测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

 工作模式：手动/自动

 电阻单元参数

 规管型号：电阻规

 测量范围：1.0×105Pa~1.0×10^-1Pa

 有效范围：2.5×103Pa~5.0×10^-1Pa

 控制范围：2.5×103Pa~5.0×10^-1Pa

 电离单元参数

 规管型号：电离规

 可测范围：5.0Pa~1.0×10^-5Pa

 有效范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

 控制范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa

 规管除气方式：焦耳去气

 其他参数

 控制路数：4路

 控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

 控制精度：±1%

 采样时间：1s

 电源：220V±10% 50HZ

 功耗：50W

 使用环境温度：0℃~45℃

 湿度：≤85%

 连接管路：采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m3/s，采用波纹管手动挡板阀与真空系统相连接。

备注：