Aerotech ABRS/ABRT精密直驱气浮转台
- 产品名称:Aerotech ABRS/ABRT精密直驱气浮转台
- 产品编号:ABRS/ABRT
- 产品商标:AEROTECH
- 产品规格:空
- 参考价格:面议
- 更新时间:2020/12/24 13:28:54
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Aerotech ABRS/ABRT精密直驱气浮转台
Aerotech ABRS/ABRT精密气浮转台: 张 1-8-5--1-8-5-5--8-6-8-8
ABRS系列空气轴承精密直驱转台 | ABRS Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRS系列精密气浮直驱转台
Aerotech 的 ABRS 系列旋转空气轴承平台提供*的角度定位,速度稳定性和低运动误差性能在一个非常低矮的封装结构中。ABRS旨在满足晶片检查,高精度计量,X射线衍射系统,光学检查和制造,以及微机电系统/纳米器件的制造等应用的严苛要求。
Aerotech ABRS系列空气轴承精密直驱转台提供出色的角度定位,速度稳定性和无误差运动性能,并且拥有非常低矮的外形。
● 直驱无刷无槽伺服电机
● 非机械接触
● 零齿槽效应电机带来显著的速度稳定性
● 显著的无误差无抖动运动特性
● 直接耦合的高精度编码器
● 扁平设计的低矮外形
● 直径:128.1-278.1 mm
● 分辨率: 0.036-0.18 arc-sec
● 双向重复性:< 1 arc-sec
● 定位精度:±2 arc-sec
Aerotech ABRS/ABRT精密气浮转台: 张 1-8-5--1-8-5-5--8-6-8-8
ABRS旋转气浮平台
1专为高精密检测,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性(电机无接头效应)
4运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
Aerotech ABRS/ABRT精密气浮转台: 张 1-8-5--1-8-5-5--8-6-8-8
ABRT旋转气浮平台
1专为高精密检测,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动,高扭拒输出
3突出的速度稳定性(电机无接头效应)
4运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6超大的空心轴径,无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
Aerotech ABRS/ABRT精密气浮转台: 张 1-8-5--1-8-5-5--8-6-8-8