8寸晶圆烘箱、无尘烤箱8寸晶圆烘箱、无尘烤箱
- 产品名称:8寸晶圆烘箱、无尘烤箱8寸晶圆烘箱、无尘烤箱
- 产品编号:
- 产品商标:
- 产品规格:空
- 参考价格:面议
- 更新时间:2024/3/13 11:20:31
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型号 |
HOC-1 800W-OF (单腔体) |
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规格尺寸 |
内尺寸 |
800*640*960(W*D*H)mm |
外尺寸 |
1460*970*1800(W*D*H)mm |
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温度范围 |
RT~250℃ |
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均匀性 |
±2℃ Noloading |
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加热功率 |
Electric Kantal 15 KW |
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温度控制器 |
1. Micro Processor P.I.D Digtal Control 2. PLC触屏程序控制器 |
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热电偶 |
TC-K型 |
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循环风机 |
Sircocco Fan 180mm |
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报警装置 |
超温报警、缺氮气报警、风机故障报警、结束报警、加热器报警等 |
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电机 |
220V/380V-50/60HZ-3P-180W |
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附件 |
流量计(L/MIN 200×2) |
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隔板 |
3层 |
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安装要求 |
电 220V/380V-50HZ/60HZ-3P 水 2-5kg/c㎡ 氮气 1-5kg/c㎡ |
单腔体烘箱2规格:
型号 |
HOC-BEO-1C (单腔体) |
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规格尺寸 |
内尺寸 |
640*640*960(W*D*H)mm |
外尺寸 |
1330*970*1800(W*D*H)mm |
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温度范围 |
RT~250℃ |
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均匀性 |
±2℃ Noloading |
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加热功率 |
Electric Kantal 15 KW |
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温度控制器 |
3. Micro Processor P.I.D Digtal Control 4. PLC触屏程序控制器 |
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热电偶 |
TC-K型 |
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循环风机 |
Sircocco Fan 180mm |
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报警装置 |
超温报警、缺氮气报警、风机故障报警、结束报警、加热器报警等 |
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电机 |
220V/380V-50/60HZ-3P-180W |
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附件 |
流量计(L/MIN 200×2) |
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隔板 |
3层 |
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安装要求 |
电 220V/380V-50HZ/60HZ-3P 水 2-5kg/c㎡ 氮气 1-5kg/c㎡ |