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多路质子混气管式PECVD

产品关键词：高温炉 PECVD 多路质子混气管式PE 多路气体混气系统
  • 产品名称：多路质子混气管式PECVD
  • 产品编号：SX2
  • 产品商标：鑫宇
  • 产品规格：60*12000（可定制多温区）
  • 参考价格：100000
  • 更新时间：2018/11/16 11:45:25
  • 点击次数：112次
主要特点：
■虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受
激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些
具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较低温度的基本表面上
发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜

■ PECVD法是用500W交流等离子体多通道精密质量流
量计和高真空系统气体组成
技术参数：
■实验机理：射频系统放电等离子体中，
电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍
■开启式管式炉：工作温度:1200℃
炉管尺寸:50,60，中80都可用
温度控制器:30段高精度数字可编程温度控制器
加热区长度:200mm
恒温区长度:200mm
■等离子射频电源：输出功率:50-500W*大可调±1%
真空度可达10pa
数字真空压力表可直观的显示数值
■质量流量计：内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气
体流量
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