氩气纯化氩气净化机超纯氩气纯化器

一、 关于氩气纯化的方法

*种

直接脱氧法。就是使用活性金属与氩气中的氧气进行反应，消化掉氩气中的氧气，从而达到脱氧的目的，经过分子筛吸收掉氩气中的水份，使氩气的含水量小于1ppm。

第二种

    是采用吸气剂。在一定温度下，吸气剂可吸收氮、氢、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体经吸收处理后，氩气的纯度可达到6个九，这种保护气体更适用于制作高纯度的半导体的单晶硅。

利用吸气剂纯化后氩气的纯度：

                           O2≤0.2ppm

                           H2≤0.5ppm

                           N2≤1ppm

                           CO+CO2≤0.5ppm

                           CH4≤0.5ppm

                           水份≤1ppm

*种方法设备投资小，设备中脱氧剂的使用寿命一般大于两年。

第二种方法设备纯化纯度高但投资相对较大，吸气剂使用寿命为一年。

★ ：本公司也可根据客户要求，直接做高压的，这样就可省掉使用模压机增压工序。

     还可根据客户要求，配备分析仪在线时时检测设备中气体纯度。

氩气用途

    高纯氩气主要用途：用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气。

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