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福州大学离子束刻蚀机顺利验收

来源:那诺-马斯特中国有限公司  发布时间:2022/11/22 12:18:25  点击次数:2852

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  后疫情时代,NANO-MASTER工程师步履不停,一站接一站为客户提供设备安装调试服务。福州大学,那诺-马斯特工程师已顺利安装验收NIE-3500型离子束刻蚀机!

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性能配置:

  • 离子束刻蚀机用于刻蚀金属和介质,z大可支持6”晶圆。

  • 配套美国考夫曼-罗宾逊 KDC160离子枪,650mA,100-1200V。刻蚀速率:~250A/min对Au;刻蚀均匀度:对4”片,片内均匀性优于±3%,重复性优于±3%。

  • 样品台可旋转,转速0-30RPM*可控;可任意角度倾斜,支持斜齿刻蚀;带水冷功能,刻蚀后易去除光刻胶。

  • 极限真空12小时可达6x10-7Torr,15分钟可达10-6Torr量级的真空;采用双真空计,长期可靠,使用稳定。

  • 14”不锈钢立方腔体,配套一台主控计算机,20”触摸屏监控,配合Labview软件,实现计算机全自动工艺控制,并可在电源中断情况下安全恢复;完全的安全联锁;支持百级超净间使用。

     

验收培训:

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