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《超高真空》
作 者:
崔遂先、王荣宗 编著
出 版 社:
化学工业出版社
出版时间:
2013年11月1日
定 价:
¥68.00
点击次数:
4366次
作者简介:
内容介绍
本书共分6章。比较全面系统地阐述了超高真空技术涉及的气体分子运动的经典理论、主要常用公式,各类超高真空扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵,超高真空阀门、挡板等元部件,超高真空测量,超高真空系统设计及维护运转。
本书可供从事超高真空技术工作的专业技术人员、操作人员使用,亦可作为大专院校师生的参考书。
第1章超高真空技术概述
11气体分子热运动速度
12气体分子的平均自由程λ
13气体分子碰撞次数
131气体分子之间(或电子与气体分子间)的碰撞次数
132分子与器壁碰撞数(碰撞频度)
14气体压力
15表面形成单分子层的时间
16气体分子在材料表面的吸附
161物理吸附速率方程
162化学吸附速率方程
17脱附速率
171一级脱附速率
172二级脱附速率
18吸附等温线(平衡状态下吸附量)
第2章超高真空泵
21超高真空油扩散泵
211超高真空油扩散泵的极限压力
212泵的返油率
213挡油帽
214挡板
215冷阱
216气体的反扩散
217扩散泵油
218扩散泵油分馏装置
219扩散泵的抽气速率
2110扩散泵临界前级压力
2111扩散泵的加热功率
2112扩散泵的不稳定性
22涡轮分子泵
221涡轮分子泵的结构、抽气原理
222分子泵的抽速和压缩比
223涡轮分子泵极限压力
224涡轮分子泵轴承及动平衡
225涡轮分子泵操作与运转
226国产立式涡轮分子泵
23溅射离子泵
231溅射离子泵抽气原理
232二极溅射离子泵的抽速
233二极溅射离子泵的极限压力
234二极溅射离子泵的不稳定性
235二极溅射离子泵的改进
236溅射离子泵的磁场与漏磁
237溅射离子泵的启动特性
238溅射离子泵的预抽
239溅射离子泵的使用寿命
2310溅射离子泵性能参数
24低温泵
241概述
242低温泵的分类
243低温泵的极限压力
244低温泵的抽速
245低温泵的热负荷
246低温泵的制冷时间
247低温泵工作寿命
248低温泵的启动压力(转换压力)
249贮槽式低温泵
2410氦流程低温泵
2411小型制冷机低温泵
第3章超高真空用法兰、阀门、冷阱
31金属超高真空法兰
311Batzer密封法兰
312角形密封法兰
313Wheeler法兰
314ConFlat法兰
315阶梯密封法兰
316金属密封法兰标准
32氟橡胶密封超高真空法兰
33真空管路及真空规管接头
331超高真空管路接头型式
332真空计规管接头
333柔性管路
34真空传动部件
341膜片、波纹管传动
342磁力传动
343磁流体传动密封
344液态金属密封
35电极引入部件、观察窗
351电极引入部件
352观察窗
36真空阀门
361真空阀门的分类
362真空阀门基本型号
363超高真空阀门
364挡板和阱
第4章超高真空测量
41概述
42全压力测量
421超高真空全压力测量的要求
422BA型热阴极超高真空电离计
423其他超高真空热阴极电离计
424冷阴极超高真空电离计
425超高真空校准
426测量方法及影响测量因素
43分压力测量及气体成分分析
431超高真空气体成分分析及分压力测量对真空质谱计的要求
432常用术语及真空质谱计主要技术指标
433超高真空用的质谱计
434超高真空系统残余气体成分分析
435真空系统气体组分的分压力测量
436超高真空分压力测量常用数据表
第5章超高真空系统
51概述
52玻璃超高真空系统
521超高真空常用玻璃
522玻璃的封接
523玻璃的放气与除气
524玻璃的渗氦
525玻璃真空系统制作
53金属超高真空系统
531金属超高真空系统设计
532超高真空抽气机组
第6章超高真空系统检漏、运转与维护
61超高真空系统的安装
62超高真空系统的检漏
621真空系统(容器、部件)漏气的判断
622真空系统允许的最大漏率
623系统漏率的测量
624检漏仪、检漏方法和示漏物质的选择
625真空设备检漏须知
63超高真空系统的运转
631超高真空系统的预抽(粗抽)
632超高真空系统烘烤除气
633超高真空泵操作注意事项
634超高真空系统的维护
参考文献
购买链接:http://product.dangdang.com/23371070.html
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